有限光瞳产生的衍射使点像具有有限宽度。衍射极限取决于光瞳形状与照明分布、相干性、波长及评价判据，引用分辨率时应同时说明这些条件。
在标量衍射、均匀无中心遮拦圆瞳模型中，相干成像的振幅传递带宽与非相干成像的强度传递带宽不同。下式中的 λ 为真空波长，NA′ 为像方数值孔径。相干系统的理想振幅传递函数在通带内为常值，而非相干 MTF 是图 5-1 所示的连续下降曲线，二者不是同一个函数。
工程上也常按指定波前误差或 Strehl 比阈值判断是否达到衍射极限。提示：几何点列图用于评价几何光线分布，衍射成像性能还需波动光学分析。
式 5-6
式中
- νc,coh
- 相干振幅传递的截止空间频率；coh 表示相干单位：长度⁻¹
- νc,incoh
- 非相干强度传递的截止空间频率；incoh 表示非相干单位：长度⁻¹
- NA′
- 像方数值孔径单位：无量纲
- λ
- 真空波长单位：长度
适用条件：单色、无像差、无遮挡圆瞳；两个截止频率分别属于相干振幅和非相干强度模型。λ 与频率的长度单位须互为倒数。
左式为相干振幅传递的截止频率，右式为非相干强度传递的截止频率，均指像方频率。